湖南红太阳光电取得石英腔室等离子清洗装置专利，清洗效率高
金融界2025年4月2日消息，国家知识产权局信息显示，湖南红太阳光电科技有限公司取得一项名为“一种石英腔室等离子清洗装置”的专利，授权公告号 CN 222700402 U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种石英腔室等离子清洗装置，包括：石英腔室、真空泵和集成式ICP发生器，所述真空泵与石英腔室连通，所述石英腔室上设有用于输入工艺气体的进气法兰，所述集成式ICP发生器可拆卸设置在石英腔室内部；当石英腔室进行清洗时，所述集成式ICP发生器的放电端同轴固定在石英腔室内，集成式ICP发生器的电源端设置在石英腔室外部，通过集成式ICP发生器进行辉光放电，以激发工艺气体电离成等离子体，完成石英腔室干法清洗；当石英腔室完成清洗后，将集成式ICP发生器移除。本实用新型具有结构紧凑、便于维护、清洗效率高等优点，清洗时无需将石英腔室从LPCVD设备中拆装，有利于提高设备产能。
天眼查资料显示，湖南红太阳光电科技有限公司，成立于2009年，位于长沙市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本65270.9万人民币，实缴资本65270.9万人民币。通过天眼查大数据分析，湖南红太阳光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目9次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息402条，此外企业还拥有行政许可9个。
本文源自金融界
相关文章
- 安徽毅丰制冷取得可移动调节的冷库出风装置专利，解决了冷库出风装置的出风口位置难以进行灵活调整的问题 04-03
- SBS道路沥青改性专用料产销两旺 04-02
- 轨道引擎驱动乡村振兴！湖南轨道集团与炎陵县共谋深度合作新蓝图 04-02
- 湖南红太阳光电取得石英腔室等离子清洗装置专利，清洗效率高 04-02
- 红途科技取得无特征数据处理方法相关专利 04-01
- 湖北骆驼海峡取得一种蓄电池极柱中心度及高度快速校正用辅助工装专利，提高校正效率同时提供对极柱高度进行校正的功能 03-31
- 铭腾国际上涨12.84%，报8.7美元/股，总市值5950.45万美元 03-19
- 信维通信取得种天线模块以及通信设备专利，实现一个天线多个频段覆盖，达到天线小型化目的 03-18